نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی (AFM,STM)

نانولیتوگرافی

نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی (AFM,STM)

مقاله نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی (AFM,STM) توسط آرام قادری کارشناس ارشد مهندسی برق تهیه شده است.

چکیده مقاله نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی :

این گزارش که از گردآوری نتایج تحقیقات انجام شده در زمینه‌ی میکروسکوپ ‌های پروبی روبشی(SPM) و نانولیتوگرافی به دست آمده، متشکل از سه قسمت، که قسمت اول معرفی میکروسکوپ‌ها، قسمت دوم معرفی SPM ها (AFM ,STM) ، نحوه بررسی سطوح، حالات کاری و قسمت سوم به بحث نانولیتوگرافی با استفاده از SPM ها ،نحوه تابش لایه محافظ، رسوب دهی ماده، اچ کردن، اصلاحات حرارتی، اکسیداسیون و DPN پرداخته شده است. از مزایای لیتوگرافی با استفاده از SPM ها می توان کاهش خطای ثبت ساخت، دمای کار کم، نیاز به تجهیزات کم، ایمنی، استفاده از اکثر عناصر ناخالصی، هزینه کم نسبت به روش های دیگر باتوجه به دقت بالا و معایب آن می توان سرعت و بازدهی کم، احتمال خطا در طی مدت باتوجه به آسب پذیر بودن نوک پروب، مجازی بودن تصاویر حاصل از AFM را می توان برشمرد.

کلید واژه: میکروسکوپ‌های پروب روبشی، نانولیتوگرافی، AFM، STM

نویسنده و ارسال کننده: آرام قادری – کارشناس ارشد مهندسی برق

نام فایل: نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی (AFM,STM)

دانلود فایل: لینک مستقیم

منبع: نواندیشان

اشتراک گذاری این نوشته

پاسخ دهید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *